技術指標
● 真空度測量范圍： 9.999×10-1～1×10-5Pa ● 離子電流測量范圍： 9.999×10-1～1×10-7A ● 測量誤差： <10% ● 測量分辨率： 10-5pa ● 高壓輸出：脈沖30kV 15kHz ● 允許環境溫度： -20℃～50℃ ● 空氣濕度： ≤80%RH ● 電源： AC，220V，50Hz±10%